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国产射频电源开始打破进口垄断

时间:2018/07/31    点击量:

光伏行业

        在太阳能的前端制作设备中PECVD和刻蚀工艺的核心设备用到射频电源和自动匹配器,我们有非常专业的国外技术,为您提供最优质的产品。

         成功应用9-12台匹配器到一个单腔体多极板的PECVD系统中,打破国外产品在该领域的垄断。并与多家太阳能公司替换损坏的AE匹配器。

半导体工艺应用

        半导体工艺中的刻蚀机、溅射台和PECVD机等,半导体的刻蚀技术、PVD和等离子体清洗均需用到射频电源和自动匹配器,在半导体这个大行业中我们的产品的到了实际的考验,并获得很多好评,因此,我们会再接再厉做到最好,替代国内8寸线上的进口射频电源盒匹配器,解决设备上的射频电源和自动匹配器老化和无人维修的难题。

真空行业

        国内大部分真空设备厂家所使用的匹配网络不是自动的,我们可以为客户提供不同阻抗范围的自动匹配器,尽可能满足客户的相关要求。成功匹配国内电子管电源,达到自动匹配效果。与国内大学和研究所合作替换原有设备上的电子管电源和手动匹配器,使设备能大幅提高。
 

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