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什么是准分子雷射 (Excimer Laser )

时间:2018/01/03    点击量:

        所谓准分子雷射(Excimer Laser),是指在雷射的介质中,使用稀有气体和卤素等混合气体的紫外线(UV)雷射,具代表性的例子有ArF准分子雷射(波长193nm)、KrF准分子雷射(波长248nm)、XeCl准分子雷射(波长308nm)、XeF准分子雷射(波长351nm)。

        准分子雷射的应用例 准分子雷射散发的紫外光,拥有高光子能量以及非常高的尖峰功率,非常具有魅力,因此各个工业领域都在进行这种强烈光线的应用研究。举例来说,像是雕刻CO2雷射和YAG雷射所无法应付的材料、高分子膜和半导体薄膜等的剥离加工、铁氟龙等树脂的表面改质、掺杂或沉积等半导体製造过程的应用,以及TSV的穿孔等。 其中最成功的例子之一是,半导体製程当中微影(Lithography)技术所用的光源。
此外,近年来伴随著液晶的高度精细化,製造液晶用的雷射退火也受到瞩目。这在製造多结晶低温多晶硅(LTPS=Low Temperature Poly-silicon)的过程中,是不可或缺的工序。

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