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    二手设备贸易

    二手设备列表
    发布时间:2018-01-03 11:54浏览次数:
    Inventory Tool List      
    ■1 Equipment(Wafer Process)      
    Tool ID #                          Tool                         Model             Manufacturer    Vintage   Wafer      Location      Description
    Lithography/ Coater/ Developer
    151213-001 i-line Stepper FPA-2500i3 Canon 1991  
    160508-001 i-line Stepper FPA-2500i3 Canon    
    160802-001 KrF Scanner NSR-S204B Nikon 2000 8"
    90916-001 Mask Aligner PLA-600FA Canon 1991 5"
    161012-001 Coater/Developer SK-80BW-AVPQE DNS 2003 6"/8"
    161012-002 Developer SD-80BW-AP DNS 2008 6"/8"
    161123-006 Coater/Developer ACT-8 TEL 2005 8"
    150308-001 UV Cure UMA-2003-H120F-BK Ushio - 12"
    150312-KG1-006 UV Cure UMA-802-HC55 Ushio 1989 6"
    Etching/Ashing
    110604-M-013,014 Dry Etcher 2sets P-5000 AMAT 1994 8"
    110504-002 Dry Etcher Unity85DM TEL 1996 8"
    150312-KG1-002 Dry Etcher U2e-655II TEL 1997 6"
    110210-006 Dry Etcher 2sets TE-8500S TEL 1994 8"
    110210-008 Dry Etcher TE-8600 TEL 1996 8"
    110907-B-16 Dry Etcher TE-8500PE TEL 1993 8"
    150309-K1-158 Dry Etcher 2sets TE-5000S TEL 1993 6"
    150309-K1-204 Dry Etcher TSE306W TOK 1990 6"
    161123-001 Dry Etch Alliance 4720 Lam Research 1996 8"
    161123-002 Dry Etch TCE-4802 TOK 1996 8"
    150309-K1-033,42,43,51 Asher 5sets MAS-801HR Canon 1989 6"
    150309-K1-186, 187 Asher 2sets OPM-A1250 TOK 1987 6"
    CVD/PVD/Diffusion/Sputter/Ion Implant
      Ion Implanter e220ehp Varian   6"
    170217-001 PE-CVD Eagle-10 ASM   5"
    170217-002 Sputter ILC-1060 Anelva   5"
    160422-006 AP-CVD WJ TEOS999 SVG   5"
    161123-005 Diffusion Furnace (Alloy) ALPHA-8  SE-Z TEL 2000 8"
    141006-RM1-015 Diffusion Furnace DD-802V-H Hitachi Kokusai 1990 6"
    170217-021 Diffusion Furnace IW-6D TEL   5"
    Wet Station/Wafer Scrubber
    150309-K1-061,063 Jet Scrubber 2 sets SSW-629B DNS 1990 6"
               
    Metrology, Microscope        
    Tool ID # Tool Model Manufacturer Vintage Wafer
    161012-004 Wafer Prober UF190A ACCRETECH
    (Tokyo Seimitsu)
    2001 6"
    161106-001 Surface Scanning Laser Confocal Displacement LT-9500 KEYENCE 2008  
    141006-RM1-247 Film Thickness FE-IVD Rudolph 1994 6"
    111112-M-006 Particle Detector SFS7600S KLA-Tencor 1993 8"
    160109-001 SEM S-3000N Hitachi 2003 -
               
    Oven          
    Tool ID # Tool Model Manufacturer Vintage Wafer
    130711-M031, M032 Oven INH-9CD-S Koyo    

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